Diffractive Optics and Optical Microsystems
| ISBN: | 9780306457708 |
|---|---|
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 422 |
| Produktart: | Gebunden |
| Herausgeber: | Chester, Arthur N. Martellucci, S. |
| Verlag: | Springer US |
| Veröffentlicht: | 30.11.1997 |
| Schlagworte: | LIGA Sensor electromagnetic wave microelectromechanical system (MEMS) micromechanics microsystems optics |
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