Mehrkomponenten Targets zum Sputtern von AlCr(W, Ta, Si)N-Systemen
Diese Dissertation befasst sich mit der pulvermetallurgischen Herstellung innovativer PVD-Targetwerkstoffe zur Abscheidung von AlCrN-Hartstoffschichten mit Zugaben von Wolfram, Tantal und Silizium. Es werden Wechselwirkungen zwischen der chemischen Zusammensetzung und der Phasenkomposition der hergestellten Targets und deren Einfluss auf die tribo-mechanischen Schichteigenschaften der abgeschiedenen Dünnschichtsysteme.Die Ergebnisse zeigen das Potenzial der pulvermetallurgischen Targetproduktion mit Refraktärmetallen für die Entwicklung von Cr-basierten Nitridschichten mit Härten von bis zu 40 GPa.
| Autor: | Fehr, Alexander |
|---|---|
| ISBN: | 9783802788321 |
| Auflage: | 1 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 280 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Herausgeber: | Tillmann, Wolfgang |
| Verlag: | Vulkan-Verlag GmbH |
| Veröffentlicht: | 08.11.2023 |
| Schlagworte: | AlCrWSiN B Nanocomposite PVD pulvermetallurgisches Target |
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